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SSII 系列直流磁控溅射电源

SSII 系列直流磁控溅射电源

适用于金属及部分反应膜层环境使用

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  • 供货总量: 100台
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  • 偏压电源,直流磁控溅射电源,中频交流磁控溅射,弧电源

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    河北 唐山 遵化市 新店子镇
是否进口:否产地:河北品牌:标先
型号:SS II 适用范围:适用于金属及部分反应膜层环境使用电源名称:SS II 直流磁控溅射电源
输入电压:AC380VV输出电压:空载900VV输出功率:2-120KWW
产品认证:***加工定制:是特色服务:保修期一年
是否跨境货源:否




SS-II系列磁控溅射电源工作于高频变换模式,直流输出,电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。电源具有良好的负载特性,性价比高,适用于金属及部分反应膜层环境使用。

电源功率范围

10-120KW

输入电源

AC380V三相四线制 50-60HZ±10%

输出方式

直流

输出电压

空载800V

灭弧时间

≤20uS

输出电流稳定率

0.5%

冷却方式

10-60KW风冷 60-120KW水冷

使用环境

环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度≤85%

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体  通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

水温 20-30℃

压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232

说明:电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

 


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